电子工业洁净室常根据生产工艺要求设置防静电环境，以便抑制静电的产生，将已产生的静电迅速、安全地排除。下面笔者就谈下电子厂洁净车间防静电设计。

在进行电子厂洁净车间设计时首先要明确控制的静电电位，该值≤100V为一级，≤200V为二级，≤1000V为三级，其适用场所分别是半导体器件、集成电路和具有一级静电敏感的电子产品制造和测试场所；对静电敏感的精密电子仪器和器件制造和测试场所；除去一、二级以外的电子器件和整机的组装调试场所。

在洁净室设计中为了减少静电事故，除了产品本身的保护措施外，设计者的责任就是设法减小起电程度。减小起电程度并加速电荷的泄漏，可以通过物理的和化学的方法实现。物理方法有选择合适的材料、接地和调节空气湿度。

1、材料分三种类型：导电材料、静电耗散材料和抗静电材料。表面电阻率低于每单位面积105欧姆，是导电的材料；每单位面积达到106~109欧姆，是静电耗散的材料；每单位面积达到1010欧姆~1014欧姆，是抗静电的材料。

如果器件已获得电荷，并与高电导率的已接地表面相接触，该电荷将迅速排掉，使电流水平可能达到足够高，以致可损害该器件可采用静电耗散材料来减慢放电速率，以减少过快放电带来的损害。抗静电材料则具有低静电产生能力，也可比较慢地排掉电荷。

2、接地是消除导体上静电荷的一种有效方法这种方法简单、可靠，不需要很大的费用。接地必须符合安全技术规程的要求。

即使已采用了其他防静电的方法，工作点的工艺设备、试验和测量设备的所有金属和导电的非金属部分仍都必须接地。

防静电的接地装置和电气安全接地装置应连接在一起。对于坐着进行操作的人员，建议穿抗静电工作服，人体通过抗静电工作服和抗静电坐垫接地。

3、调节湿度法是降低起电程度的简单方法之一，是将生产车间中空气的相对湿度提高到65％~70％。此时大多数介质面层的表面上都凝聚有一层厚厚的水膜。水膜中常含有大量溶解物质的离子，因而介质的表面电导率随湿度的提高而提高。提高湿度尤其能使衣服纤维材料的起电性能降低。

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