一、电子洁净车间空调净化系统主要形式

电子洁净车间空调净化系统主要有以下几种形式：

1、垂直单向流集中送风方式；

2、风机过滤单元送风方式；

3、隧道送风方式；

4、非单向流送风加层流罩送风方式；

5、微环境方式。

这几种形式的特点：

垂直单向流集中送风：活动区与生产区同处一室，面积可很大，活动自由，灵活性大正压顶棚，不利密封

风机过滤单元：同垂直单向流集中送风，但噪声大耗能较多，不利于维修；负压顶棚，有利密封

隧道送风：活动区与生产区分开，有利于控制污染

非单向流加层流罩：局部操作区可实现较高洁净度（1S05级），自由度差，噪声大

微环境：生产区彻底被隔离，机械手操作，易实现其他方式难实现的高洁净度。

二、垂直单向流集中送风方式

集中送风方式是一种经典的方式。集中送风方式就是将多台空调净化机组集中设置在空调机房内。空调机房可位于洁净室的侧面，也可位于洁净室的顶层。垂直单向流集中送风方式可适用于大面积和洁净度级别高的洁净室。

三、风机过滤单元（FFU）方式

风机过滤单元方式也是集中送风，在最近若干年获得大的推广该方式灵活性更大。这种送风方式将新风与回风的混合风由单元机组送到洁净室，再从回风静压室经两侧夹道回至送风静压箱与新风混合。这种方式由于不需要大的空调机房，送风静压箱内的空气处于被风机过滤单元中的风机抽吸的状态，所以箱内呈负压，因此有利于防止过滤器边框的泄漏。但是单元台数太多，一台一个电机，发热量全散在顶棚中，给制冷带来过大的负荷。台数多，叠加噪声大，不便于维修。

如果车间跨度很大，新风口开在一侧或两侧不足以使处理过的新风较均匀地分配到每个FFU，回风也有这种现象，此时也可能要设必要的新风管道，进入纵深。当风机过滤单元满布时，其外壳强度应满足上人要求。

由于风机过滤单元只负责空气循环及其净化处理，不能处理循环风的热负荷（湿负荷由新风兼管），所以必须在循环通路上如夹墙内设冷却装置。为防潮湿滋生细菌，此冷却装置应为干表冷器，其进水温度应高于洁净室露点温度，其迎面风速不能太大，要使产生的阻力可为风机过滤单元的风机余压所克服。为防还有一些凝结水产生，必须考虑适当的排水措施。不能在夹墙或下技术层安装干表冷器时，也有使部分回风回到大机组的做法。

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