洁净室内的污染源主要来自四个方面:①大气中含尘、含菌、净化空调系统中新风带入的尘粒和微生物;②作业人员发尘;③建筑围护结构、设施的产尘,这里包括墙、顶棚、地面和一些棵露管线的产尘;④设备及产品生产过程的产尘。随着产品生产自动化程度的提高,作业人员的减少,设备及生产过程的原料、辅助材料、各种工艺介质和生产过程产生的尘源越来越引起人们的关注,且在各种尘源中所占比例是上升趋势。室内发生的污染空气的主要物质如表1所列。

作业人员的发尘量与作业人员的动作、洁净工作服(包括鞋)的材料、型式和房间内的人员数有关。

关于建筑围护结构、设施的产尘情况,与建造洁净室所采用的建筑材料、施工安装方法有关,近年来由于建筑装修材料的不断改善,特别是各种贴塑喷涂面材、金属壁板、仿搪瓷漆墙面、塑科地面等的应用,使来自建筑表面的产尘量日益减少,其所占室内总产尘量的份额已经较低。目前洁净室内的管线一般均采用暗装,少数裸装管线通常均采用不锈钢板加以局部封闭，尽力减少产尘。

洁净室内生产设备和产品生产过程的产尘量主要取决于产品生产过程的特点、选用的设备状况及其采取的技术措施、选用的原料辅料、工艺介质的纯度及其输送系统等,近年来由于采取了各种技术措施,降低了这类产尘量,如采用封闭隔断及局部排风措施等,使产尘区域相对于周围空间有一定的负压,防止粉尘扩散开来,以至危害其他工序的洁净度;采取排风罩等措施将工艺产尘排走,尽可能减少扩散到生产车间的粉尘量;车间机械设备的轴承、齿轮、传动皮带等运动部件在工作过程中,由于润滑油升温炭化及机械磨损等原因而散发到空气中的尘埃,越来越引起某些高洁净度工艺的关注。