净化车间的净化空调系统一般可分为集中式和分散式两种类型。集中式净化空调系统是净化空调设备（如加热器、冷却器、加湿器、粗中效过滤器、风机等)集中设置在空调机房内,用风管将洁净空气送给各个洁净室。分散式净化空调系统是在一般的空调环境或低级别净化环境中,设置净化设备或净化空调设备,如净化单元、空气自净器、层流罩、洁净工作台等。随着科学技术的发展,尤其是半导体集成电路制造技术的迅猛发展,对生产环境的空气洁净度要求越来越高,现今的超大规模集成电路生产要求控制空气中的0.05μm的微粒浓度和分子级污染物,因此洁浄室的送风方式发生了很大变化,在半导体芯片工厂或类似生产过程要求高洁净度的洁净厂房中,其净化空调系统采用循环空气方式,其循环方式主要有集中方式、隧道方式、风机过滤单元(FFU)方式和微环境+开放式洁净室方式等。这些送风方式既可满足高洁净度要求,还可以不同程度地降低能量消耗。

一、集中式净化空调系统

1、单风机系统和双风机系统

单风机系统的最大优点是空调机房占用面积小。但相对双风机系统而言,其风机的压头大,噪声、振动大。采用双风机可分担系统的阻力,此外,在药厂等生物洁净室,洁净室需定期进行灭菌消毒,采用双风机系统在新风、排风管道设计合理时,调整相应的阀门,使系统按直流系统运行,便可迅速带走洁净室内残留的刺激性气体。

2、风机串联系统和风机并联系统

在净化空调系统中,通常空气调节所需风量远远小于净化所需风量,因此洁净室的回风绝大部分只需经过过滤就可再循环使用,而无需回至空调机组进行热、湿处理。为了节省投资和运行费,可将空调和净化分开,空调处理风量用小风机,净化处理风量用大风机,然后将两台风机再串联起来构成风机串联的送风系统。

当一个空调机房内布置有多套净化空调系统时,可将几套系统并联,并联系统可共用一套新风机组,并联系统运行管理比较灵活,几台空调设备还可以互为备用以便检修。

设有值班风机的净化空调系统也是风机并联的一种形式,所谓值班风机,就是系统主风机并联一个小风机。其风量一般按维持洁净室正压和送风管路漏损所需空气量选取,风压按在此风量运行时送风管路的阻力确定。非工作时间,主风机停止运行而值班风机投入运行,使洁净室维持正压状态,室内洁净度不至于发生明显变化。

二、分散式净化空调系统

1、在集中空调的环境中设置局部净化装置(微环境/隔离装置、空气自净器、层流罩洁净工作台、洁净小室等)构成分散式送风的净化空调系统。也可称为半集中式净化空调系统。

2、在分散式柜式空调送风的环境中设置局部净化装置(高效过滤器送风口、高效过湛

器风机机组、洁净小室等)构成分散式送风的净化空调系统。